PECVD의 샤워 헤드는 어떤 역할을 하나요?

0020-30797 천공판 샤워 헤드

0021-35869 샤워헤드

 

PECVD 공정에서 샤워 헤드의 역할?

위 그림에서 볼 수 있듯이, 샤워헤드(Showerhead)는 스프링클러헤드, 샤워헤드 등으로도 번역되며, 대개 반응부 상부에 꼭 맞게 끼워져 가스 주입구 역할을 하며, 작은 구멍을 통해 반응가스를 챔버 내부로 고르게 주입하는 역할을 한다. 표면에. 물론, 가스분배의 기능만 있는 것이 아니고, 일부는 전극의 일부로 사용되도록 설계되어 있습니다.
기능 샤워 헤드?

샤워 헤드의 표면은 조밀한 기공으로 덮여 있으며, 반응가스가 유입된 후 여러 부분으로 균등하게 나누어 일정한 유속으로 웨이퍼 상부로 이송되어 반응가스가 전체를 고르게 덮게 됩니다. 보다 균일한 코팅을 생성하기 위한 웨이퍼 표면. 샤워헤드가 전극의 일부인 경우 RF 전원은 표면에 균일한 전기장을 생성하여 균일한 플라즈마를 형성할 수 있습니다.

샤워 헤드를 만드는 데 일반적으로 어떤 금속이 사용됩니까?

가장 흔한 것은 알루미늄으로 열전도율이 높고 부식에 강합니다. 석영이나 도자기를 사용하여 샤워 헤드를 만들 수도 있습니다.