에칭에 대한 챔버 압력의 영향은 무엇입니까?

무엇입니까?E~의 영향C햄버P안심시키다E가려움증?

챔버 압력은 어떻게 조절되나요? 에칭 결과에 어떤 영향을 미치나요?

챔버 압력이란 무엇입니까? 챔버 압력은 에칭 장비의 프로세스 챔버 내 가스 압력을 말하며 일반적으로 Torr 또는 Pascal 단위로 측정됩니다.

o 챔버 압력을 결정하는 것은 무엇입니까?
1. 가스 유량이 높을수록 압력이 높아집니다.
2. 진공 펌프는 배기되며 펌프 속도가 높을수록 챔버 압력은 낮아집니다.

o 에칭에 대한 챔버 압력의 영향
1. 이온 충격 에너지. 낮은 압력, 큰 분자의 평균 자유 경로, 작은 이온 충돌 확률, 적은 에너지 소실, 높은 에너지.
2. 자유 라디칼에 대한 이온의 비율. 낮은 압력에서는 이온의 비율이 높아 물리적인 에칭에 유리합니다. 고압에서는 높은 비율의 자유 라디칼이 화학적 에칭을 선호합니다.

에칭 균일성. 고압에서는 고주파 충돌로 인해 가스 유량이 감소하고 자유 라디칼이 가장자리 영역을 포함한 웨이퍼 표면의 모든 부분으로 더 쉽게 확산되며 전체 웨이퍼 표면에 노출되는 반응물의 농도가 균일해집니다. 에칭 속도는 동일한 경향이 있습니다.

요약
0020-24896 커버 링 6" SST 101 AL

0020-28205 6" TI 커버 링
챔버 압력이 증가함에 따라 에칭 반응은 물리적 에칭에서 물리적 + 화학적 에칭, 화학적 에칭으로 점진적으로 전환됩니다.