국내 포토리스트가 고장 났고 일본 기업들의 독점은 마침내 느슨해졌습니다.

칩 제조 리소그래피의 핵심 소모품으로서, 특히 고급 재료는 일본과 미국 거인들에 의해 오랫동안 독점적이되어 왔으며, 외국 기업은 원자재와 공식에 대해 매우 기밀이며, 우리나라의 포토리스트의 90 % 이상이 수입에 의존합니다. 그러나 최근에, KRF 두꺼운 접착제의 대량 생산에서 ARF 침지 접착제 검증에 이르기까지 수지의 국소화에서 EUV 원료의 돌파구에 이르기까지 ARF 몰입 접착제 검증에 이르기까지 국내 포토 레지스트 분야에서 자주 성공을 거두었습니다.

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예를 들어, 248nm 파장의 KRF 포토 레스트에서 Wuhan Taiziwei의 T150A 접착제는 120nm 해상도와 93.7% 수율로 SMIC의 28NM 생산 라인 검증을 통과하여 국내 SEMICONDUCOR LITHOGROP 제조에서 새로운 상황을 만듭니다.
Hengkun New Materials의 KRF Adhesive는 10 만 웨이퍼의 수요를 충족시키기 위해 500 톤의 연간 생산 능력으로 7NM 프로세스를 다루었으며 Anhui 생산 기반의 확장은 실험실에서 대규모 대량 생산으로 국내 대체의 질적 변화를 표시합니다.
Xuzhou Bokang은 14nm 습식 포토 레스트 기술을 정복했으며 건식 ARF 및 습식 ARF 포토 레스트의 기술적 기능을 보유하고 있으며, 건조 ARF는 90Nm/65nm/55nm 노드에 적용될 수 있으며 습식 ARF는 40NM/28NM 노드에 적용될 수 있으며 습식 ARF 포토리스트 재료를 14NM 및 14NM 및 하위로 발전시킬 수 있습니다.
193nm ARF Photoresist의 더 어려운 분야에서 Nanda 광전자는 게임 브레이커가되었습니다. 건조 ARF 접착제의 결함 속도는 0.01 pcs/cm²로 제어되고, 잠시 된 접착제는 공식을 완료하고, 수율은 처음에 40%에서 60% 미만으로 증가합니다. 국제 수익률이 85% 인 격차가 여전히 있지만,이 획기적인이 돌파구는 국내 ARF 접착제가 Yangtze River Storage 및 SMIC의 생산 라인에서 30% 현지화 침투를 달성 할 수있게 해주었다.

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Tongcheng New Materials는 클라이언트 측면에서 검증 및 인증 할 다양한 고해상도 KRF, ARF Photoresist 및 기타 제품을 도입했으며 ARF 포토리스트가 판매되었으며 포토 레지스트 용매의 자체 생산도 실현되었습니다.
포토 레지스트의 자율성은 결코 단일 획기적인 획기적인 지점 . 50 비용의 비용이 수지에 집중되어 있으며, 8 억 시간과 공간의 100 톤 대량 생산 라인은 수지의 순도를 99.999%로 증가시키고 금속 불순물은 1ppb 미만으로, 20%감소 할 것입니다.

업스트림 솔벤트 링크에서 Yida의 전자 급 PM 솔벤트는 전 세계 시장의 40% 이상을 차지하여 일본의 칸토 화학 물질의 독점을 깨뜨리고 Nanda 광전자와 협력하여 지원 시약을 개발하여 단일 제품에서 시스템 솔루션으로 업그레이드됩니다.
물론, 그것은 여전히 전 세계적으로 15 년이 넘었으며 현재 Jiuri New Materials는 Photognected Acid Production 기술, EUV 포토 레지스트의 핵심 원료 인 Photognected Acid 생산 기술을 극복하여 일본의 20 년 독점을 깨뜨리고 포토리스트 성능의 개선을위한 기초를 세우는 것은 ASML 장비와 일치하는 과정의 디버깅이 어렵습니다.
ARFI 침수 접착제의 수율 변동은 FAB가 단일 검증을 위해 천만 위안 이상의 비용을 부담하도록 강요하며, 고객 인증주기는 18-24 개월 정도입니다. 동시에, 일본 수입에 의존하는 고급 수지의 30%의 현재 상황은 공급망의 보안이 여전히 높게 매달려 있음을 시사합니다.

글로벌 포토 레지스트 시장에서 일본과 미국 기업의 독점 위치는 여전히 견고하며, 일본의 JSR, 도쿄 오이카, 신 에츠 화학 및 후지 필름은 전 세계 시장 점유율의 70% 이상을 차지합니다.
그러나 국내 포토리스트의 개발 전망은 여전히 광범위합니다. 5G, 인공 지능 및 사물 인터넷과 같은 신흥 기술의 빠른 개발로 반도체 칩에 대한 수요는 계속 커져서 포토리스트 시장이 더욱 확장되도록 이끌 것입니다.

결론

기술 혁신 및 용량 확장에 기초하여, 국내 기업은 시장 점유율을 높이고, 글로벌 포토 레지스트 시장에서 더 중요한 위치를 차지하고, 비용 고급 및 현지 서비스 진보를 통해 독립적이고 제어 가능한 고품질 개발을 향해 우리 국가의 반도체 산업을 홍보 할 것으로 예상됩니다.