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0040-09893 챔버 본체,R2,가장자리 가스 공급. 2차 소스 신규. AMAT 금속 에칭 5000.
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0040-01973 REV.004 챔버 바닥 복사열 200MM RTP. 2차 소스 신규.
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0040-13865 Booy 200mm 챔버 생산자. 두 번째 소스 신규.
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0021-36743 DPS 폴리 하부 챔버. 2차 소스 신규. 아마트 센츄라 5200 DPS 폴리.
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715-330834-002 DHSG, LWR RCTN CHMBR, ENH. 2차 소스 신규. 램리서치.
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