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0040-39883 5000/5200 WXZ 챔버. 2차 소스 신규.
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0040-02544 상체, DPS 금속. 2차 소스 신규. AMAT 센츄라 5200 DPS.
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0040-01973 REV.004 챔버 바닥 복사열 200MM RTP. 2차 소스 신규.
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715-028405-001 하우징, 하부 반응실
715-028405-001 하우징, 하부 반응실. 램리서치.
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0021-36743 DPS 폴리 하부 챔버. 2차 소스 신규. 아마트 센츄라 5200 DPS 폴리.
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0040-09723 -유니바디, 에칭 챔버. 2차 소스 신규. AMAT 금속 에칭 5000.
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0040-31942 챔버 본체, 에칭, 산화물, 측면 가스 공급. 2차 소스 신규. AMAT 센츄라 5200 MXP+.
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715-330834-002 DHSG, LWR RCTN CHMBR, ENH. 2차 소스 신규. 램리서치.
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0040-39553 챔버 본체, DXZ. 2차 소스 신규. AMAT 센츄라 5200 DXZ.
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0040-09893 챔버 본체,R2,가장자리 가스 공급. 2차 소스 신규. AMAT 금속 에칭 5000.
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0040-04745 챔버 본체 Ultima Hdp-cvd. 2차 소스 신규. AMAT Centura 5200 HDP-CVD.
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