사전 진공 컨베이어(Loadlock) 및 이송 플랫폼의 본체

사전 진공 컨베이어는 대기와 진공을 위한 이송 챔버로, 반응 챔버가 외부 대기와 직접 접촉하지 않도록 격리하여 반응 챔버의 청결을 보장하고 반응 챔버의 오염 가능성을 줄이는 데 사용됩니다. 프런트 엔드 모듈이 웨이퍼를 사전 진공 컨베이어로 픽업하여 배치해야 할 때 질소로 채워야 하며 캐비티의 공기 압력을 대기압 상태로 조정한 다음 프런트 엔드 모듈 측면에 있는 사전 진공 컨베이어의 전달 밸브를 열어 웨이퍼를 픽업하여 배치합니다. 웨이퍼를 이송 챔버(전송 플랫폼의 일부)에서 사전 진공 이송 바디로 픽업하여 배치할 때는 진공 펌프를 사용하여 사전 진공 이송 바디의 가스를 펌핑하여 진공 상태로 조정한 다음 사전 진공 이송 바디의 다른 쪽에 있는 이송 밸브를 열고 웨이퍼 픽앤플레이스를 수행해야 합니다.

웨이퍼를 이송 시스템에서 운반하기 위한 구체적인 단계는 다음과 같습니다. 모든 도어가 닫힙니다.→ 웨이퍼 로딩 포트가 열리고, 웨이퍼 카세트의 도어가 열립니다.→ 대기 조작기가 카세트의 웨이퍼 보트에서 웨이퍼를 잡습니다.→ 웨이퍼가 정렬기에 놓입니다.→ 웨이퍼 위치가 교정됩니다.→ 질소 가스가 LoadLockA에 채워집니다.→ LoadLockA의 도어가 열립니다.→ 대기 조작기가 웨이퍼를 LoadLockA에 넣습니다.→ LoadLockA의 도어가 닫힙니다.→ LoadLockA가 진공 처리됩니다.→ 반응 챔버의 도어가 열립니다.→ 빈 조작기가 웨이퍼를 반응 챔버에 넣습니다.→ 반응이 일어납니다.→ 반응이 완료된 후, 반응 챔버가 진공 처리됩니다.→ 이송 챔버의 도어가 열립니다.→ 진공 조작기가 웨이퍼를 이송 챔버로 옮깁니다.→ 반응 챔버의 도어가 닫힙니다.→ LoadLockB의 도어가 열립니다.→ 진공 조작기가 웨이퍼를 LoadLockB로 옮깁니다.→ LoadLockB의 도어가 닫힙니다.→ LoadLockB에 질소가 채워집니다.→ LoadLockB의 도어를 엽니다→ 대기 조작기가 웨이퍼를 LoadLockB에서 옮깁니다→ LoadLockB를 닫습니다